SPHYLI 系列真空直线电机

真空与特殊环境运动系统
SPHYLI 系列真空直线电机采用专用绝缘、低放气材料和适当的表面处理,为真空系统提供直驱运动。六个电机系列覆盖 29–2,100 N 峰值推力和 14–490 N 持续推力,实际应用需进行针对性验证。
sphyli 真空直线电机主图

定位精度

高扭转刚度及在减速器整个使用寿命内保持稳定的扭转回程间隙,确保性能始终一致。

紧凑设计

高性能与短机身设计带来高转矩密度

低维护

高质量标准带来更长的使用寿命和维护周期

技术数据

面向真空系统的直驱运动

一套可配置电机系列,满足精密真空运动需求

SPHYLI 系列涵盖六个电机系列和 25 种型号配置,集成真空专用绝缘、低放气结构与直驱直线运动。

真空直驱运动

专为真空系统及精密定位组件中的直线运动而设计。

低放气结构

采用低放气胶黏剂、环氧体系和电缆,并配合精选结构材料及表面处理。

可配置集成

可针对每个项目评估绝缘、放气控制、热管理、尺寸和接口。

工程信息

技术数据

可按推力、电气特性、热限制和电机长度比较六个 SPHYLI 电机系列。所有数值均为产品样册参考值,需结合具体应用验证。

29–2,100 N峰值推力
14–490 N持续推力
1 × 10⁻⁷ Torr参考真空度
25型号配置
型号系列

SPHYLI1 真空直线电机

所列数值对应可选的电机长度配置。

SPHYLI1 真空直线电机技术参数
参数 单位 SPHYLI101 SPHYLI102 SPHYLI103 SPHYLI104 SPHYLI105
峰值推力 N 126 252 378 504 630
持续推力 N 29 59 88 118 147
电机常数 N/√W 2.9 5.8 7.1 8.2 9.2
最大连续功率 W 101 102 152 203 254
最大电流 Arms 15.0 15.0 15.0 15.0 15.0
连续电流 Arms 3.5 3.5 3.5 3.5 3.5
电阻 Ω L-L 2.1 3.0 4.5 6.0 7.5
电感 mH L-L 0.9 1.8 2.7 3.6 4.5
反电动势常数 Vpeak/(m/s) L-L 6.9 13.7 20.6 27.4 34.3
推力常数 N/Arms 8.4 16.8 25.2 33.6 42.0
电气时间常数 ms 0.4 0.6 0.6 0.6 0.6
绕组最高温度 °C 100 100 100 100 100
动子质量 kg 0.30 0.45 0.60 0.75 0.90
定子每米质量 kg/m 7.7 7.7 7.7 7.7 7.7
极距 mm 30.00 30.00 30.00 30.00 30.00
电机长度 mm 74 134 194 254 314
型号系列

SPHYLI2 真空直线电机

所列数值对应可选的电机长度配置。

SPHYLI2 真空直线电机技术参数
参数 单位 SPHYLI201 SPHYLI202 SPHYLI203 SPHYLI204 SPHYLI205
峰值推力 N 211 421 632 842 1,053
持续推力 N 49 98 147 197 246
电机常数 N/√W 5.0 8.4 10.3 11.9 13.3
最大连续功率 W 96 136 203 271 339
最大电流 Arms 15.0 15.0 15.0 15.0 15.0
连续电流 Arms 3.5 3.5 3.5 3.5 3.5
电阻 Ω L-L 2.0 4.0 6.0 8.0 10.0
电感 mH L-L 1.1 2.3 3.5 4.5 5.8
反电动势常数 Vpeak/(m/s) L-L 11.5 22.9 34.4 45.9 57.3
推力常数 N/Arms 14.0 28.1 42.1 56.2 70.2
电气时间常数 ms 0.6 0.6 0.6 0.6 0.6
绕组最高温度 °C 100 100 100 100 100
动子质量 kg 0.50 0.80 1.00 1.25 1.45
定子每米质量 kg/m 12.0 12.0 12.0 12.0 12.0
极距 mm 30.00 30.00 30.00 30.00 30.00
电机长度 mm 74 134 194 254 314
型号系列

SPHYLI3 真空直线电机

所列数值对应可选的电机长度配置。

SPHYLI3 真空直线电机技术参数
参数 单位 SPHYLI301 SPHYLI302 SPHYLI303 SPHYLI304 SPHYLI305
峰值推力 N 315 630 945 1,260 1,575
持续推力 N 74 147 221 294 368
电机常数 N/√W 6.1 10.3 12.6 14.6 16.3
最大连续功率 W 145 203 305 407 508
最大电流 Arms 15.0 15.0 15.0 15.0 15.0
连续电流 Arms 3.5 3.5 3.5 3.5 3.5
电阻 Ω L-L 3.0 6.0 9.0 12.0 15.0
电感 mH L-L 1.7 3.4 5.1 6.8 8.5
反电动势常数 Vpeak/(m/s) L-L 17.1 34.3 51.4 68.6 85.7
推力常数 N/Arms 21.0 42.0 63.0 84.0 105.0
电气时间常数 ms 0.6 0.6 0.6 0.6 0.6
绕组最高温度 °C 100 100 100 100 100
动子质量 kg 0.80 1.10 1.50 1.70 2.00
定子每米质量 kg/m 17.8 17.8 17.8 17.8 17.8
极距 mm 30.00 30.00 30.00 30.00 30.00
电机长度 mm 74 134 194 254 314
型号系列

SPHYLI4 真空直线电机

所列数值对应可选的电机长度配置。

SPHYLI4 真空直线电机技术参数
参数 单位 SPHYLI401 SPHYLI402 SPHYLI403 SPHYLI404 SPHYLI405
峰值推力 N 420 840 1,260 1,680 2,100
持续推力 N 98 196 294 392 490
电机常数 N/√W 7.2 12.2 15.0 17.3 19.3
最大连续功率 W 183 258 386 515 644
最大电流 Arms 15.0 15.0 15.0 15.0 15.0
连续电流 Arms 3.5 3.5 3.5 3.5 3.5
电阻 Ω L-L 3.8 7.6 11.4 15.2 19.0
电感 mH L-L 2.2 4.4 6.6 8.8 11.0
反电动势常数 Vpeak/(m/s) L-L 22.9 45.7 68.6 91.4 114.3
推力常数 N/Arms 28.0 56.0 84.0 112.0 140.0
电气时间常数 ms 0.6 0.6 0.6 0.6 0.6
绕组最高温度 °C 100 100 100 100 100
动子质量 kg 1.00 1.30 1.70 2.00 2.40
定子每米质量 kg/m 26.7 26.7 26.7 26.7 26.7
极距 mm 30.00 30.00 30.00 30.00 30.00
电机长度 mm 74 134 194 254 314
型号系列

SPHYLI5 真空直线电机

所列数值对应可选的电机长度配置。

SPHYLI5 真空直线电机技术参数
参数 单位 SPHYLI501 SPHYLI502
峰值推力 N 41 83
持续推力 N 17 34
电机常数 N/√W 2.7 4.5
最大连续功率 W 40 59
最大电流 Arms 2.4 2.4
连续电流 Arms 1.0 1.0
电阻 Ω L-L 10.6 21.2
电感 mH L-L 7.6 14.2
反电动势常数 Vpeak/(m/s) L-L 14.0 28.1
推力常数 N/Arms 17.2 34.4
电气时间常数 ms 0.7 0.7
绕组最高温度 °C 90 90
动子质量 kg 0.10 0.16
定子每米质量 kg/m 3.0 3.0
极距 mm 24.00 24.00
电机长度 mm 60 108
型号系列

SPHYLI6 真空直线电机

所列数值对应可选的电机长度配置。

SPHYLI6 真空直线电机技术参数
参数 单位 SPHYLI601 SPHYLI602 SPHYLI603
峰值推力 N 29 58 87
持续推力 N 14 29 43
电机常数 N/√W 2.4 4.0 4.8
最大连续功率 W 37 54 81
最大电流 Arms 4.2 4.2 4.2
连续电流 Arms 2.1 2.1 2.1
电阻 Ω L-L 2.2 4.4 6.6
电感 mH L-L 1.6 3.2 4.7
反电动势常数 Vpeak/(m/s) L-L 5.6 11.3 16.9
推力常数 N/Arms 6.9 13.8 20.7
电气时间常数 ms 0.7 0.7 0.7
绕组最高温度 °C 90 90 90
动子质量 kg 0.10 0.14 0.18
定子每米质量 kg/m 3.3 3.3 3.3
极距 mm 22.50 22.50 22.50
电机长度 mm 54 100 145

通用参考规格:绝缘等级 F;耐压 1,500 V,持续 60 s;在 500 V DC 下绝缘电阻 >10 MΩ。应用温度:0 至 40 °C。实际应用需进行针对性验证和热评估。

SPHYLI1 真空直线电机机械外形图
SPHYLI1 机械外形图。尺寸单位为毫米;电机长度随型号变化,详见参数表。
SPHYLI2 真空直线电机机械外形图
SPHYLI2 机械外形图。尺寸单位为毫米;电机长度随型号变化,详见参数表。
SPHYLI3 真空直线电机机械外形图
SPHYLI3 机械外形图。尺寸单位为毫米;电机长度随型号变化,详见参数表。
SPHYLI4 真空直线电机机械外形图
SPHYLI4 机械外形图。尺寸单位为毫米;电机长度随型号变化,详见参数表。
SPHYLI5 真空直线电机机械外形图
SPHYLI5 机械外形图。尺寸单位为毫米;电机长度随型号变化,详见参数表。
SPHYLI6 真空直线电机机械外形图
SPHYLI6 机械外形图。尺寸单位为毫米;电机长度随型号变化,详见参数表。
围绕您的真空系统进行配置

根据应用匹配推力、长度与材料

请选择所需的峰值推力、持续推力和电机长度,并结合应用确认真空度、行程、工作制和工作电压。

  • 参考真空度 1 × 10⁻⁷ Torr
  • 根据绝缘与放气要求进行项目评估
  • 可配置热、机械与电气集成方案
SPHYLI 真空直线电机集成示意图
应用领域

面向受控真空环境的直驱运动

SPHYLI 系列适用于需要可配置推力、紧凑机械集成和低放气材料的真空设备。

01

真空沉积

为沉积及真空工艺设备提供直驱直线运动。

02

半导体系统

为半导体制造设备提供可配置的真空运动方案。

03

科研真空腔体

适用于科研真空腔体和实验室真空组件的直线运动。

04

精密定位

为需要精密直线定位的设备提供直驱运动。

系统集成

最终配置前请明确工况条件

请提供腔体压力、推力、行程、工作制和接口要求,以便综合评估绝缘、材料与热管理。

参考真空度1 × 10⁻⁷ Torr
应用温度0 to 40 °C
绝缘等级Class F
耐压1,500 V / 60 s
绝缘电阻>10 MΩ at 500 V DC

与我们的工程师讨论您的真空直线运动需求。

请提供真空度、推力、行程、工作制和机械接口要求,以便进行型号选择与集成评估。

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精益求精,全新维度

SPHYLI 系列真空直线电机
SPHYLI 系列真空直线电机采用专用绝缘、低放气材料和适当的表面处理,为真空系统提供直驱运动。六个电机系列覆盖 29–2,100 N 峰值推力和 14–490 N 持续推力,实际应用需进行针对性验证。

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