750 W 真空伺服电机

真空伺服电机
SPVS750W 真空伺服电机,额定转矩 2.39 N·m、最大转矩 7.17 N·m、额定转速 3000 rpm,提供 48 / 110 / 220 / 380 V 绕组选择,旋转变压器配置的真空度可达 1 × 10⁻⁷ Pa。
750 W 真空伺服电机(透明背景)

定位精度

高扭转刚度及在减速器整个使用寿命内保持稳定的扭转回程间隙,确保性能始终一致。

紧凑设计

高性能与短机身设计带来高转矩密度

低维护

高质量标准带来更长的使用寿命和维护周期

技术数据

750 W 真空伺服平台

面向严苛真空系统的高转矩闭环运动

SPVS750W 可提供 2.39 N·m 额定转矩和 7.17 N·m 最大转矩,最高转速 4000 rpm,并提供适用于受控真空环境中精密运动的绕组与反馈配置。

750 W 伺服性能

额定转速 3000 rpm、最高转速 4000 rpm,适用于动态精密运动轴。

真空环境适配结构

旋转变压器配置的真空度可达 1 × 10−7 Pa,适用于高真空设备。

可选反馈方式

可根据定位和环境要求选择旋转变压器反馈或多圈绝对值编码器。

灵活的绕组选项

提供 48 V、110 V、220 V 和 380 V 电压配置,适配不同设备供电架构。

宽温度范围

旋转变压器版本可适用于 −196°C 至 +200°C 的环境,具体取决于最终配置。

制动器适配平台

提供带保持制动器和不带制动器版本的机械数据。

工程信息

技术数据

以下电气、环境及工作数据可用于 750 W 配置的型号选择与系统集成。

750 W额定功率
SPVS750W产品型号
2.39 N·m额定转矩
80 mm机座尺寸

电气参数

不同电压下的性能参数

电气参数按极对数和绕组电压配置列出。

SPVS750W 不同电压配置下的电气参数
极对数 电压 额定电流 最大电流 线间电阻 线间电感 反电动势
5 48 V 19.6 A 58.8 A 0.118 Ω 0.534 mH 7.84 V/Krpm
5 110 V 8.5 A 25.5 A 0.43 Ω 2.57 mH 16.61 V/Krpm
5 220 V 4.3 A 12.9 A 1.73 Ω 9.94 mH 34.3 V/Krpm
5 380 V 2.9 A 8.7 A 4.95 Ω 29.43 mH 53.94 V/Krpm
机械参数

通用性能与结构参数

额定值与最大值适用于所提供的 750 W 电机系列资料。

SPVS750W 通用性能与机械参数
规格 数值 备注
额定功率 750 W 所有配置
额定转矩 2.39 N·m 所有配置
额定转速 3000 rpm 所有配置
最大转矩 7.17 N·m 峰值工作点
最大转速 4000 rpm 最高转速
绝缘等级 F —
防护等级 IP54(轴端除外) —
反馈方式 旋转变压器、霍尔、增量式或多圈绝对值编码器 取决于配置
重量 2.7 kg / 3.2 kg 不带制动器 / 带制动器
转子惯量 1.618 / 1.712 kg·cm² 不带制动器 / 带制动器
环境参数

真空与温度限制

反馈方式决定允许的真空度和温度范围。

SPVS750W 不同反馈配置下的环境限制
反馈配置 真空度 工作温度
旋转变压器 1 × 10−7 Pa −196°C 至 +200°C
其他编码器配置 上限:1 × 10−4 Pa −40°C 至 +105°C
机械接口

外形尺寸与接线数据

使用以下机械尺寸和端子定义规划安装与电气集成。

750 W 真空伺服电机机械尺寸与安装接口
SPVS750W 机械尺寸,单位为毫米;定型前请确认最终的制动器、出线方向和反馈配置。
尺寸参考

80 mm 机座接口

所提供 750 W 图纸的关键尺寸
特征 尺寸
机座 80 mm 方形
电机机身高度 93 mm
止口直径 Ø70 mm (0 / −0.03)
轴径 Ø19 mm (0 / −0.013)
轴伸长度 35 ± 1 mm
机身长度 128 ± 1.5 mm
带制动器总长 160 ± 1.5 mm
安装孔 4 × Ø6.5 通孔,PCD Ø90
螺纹孔 M5,深 12 mm
接线数据

动力连接器

动力与制动器连接器针脚定义
引脚 信号 颜色
1 U 红色
2 V 白色
3 W 黑色
4 PE 绿色
5 B+ 黄色
6 B− 棕色
接线数据

旋转变压器

旋转变压器连接器针脚定义
引脚 信号 颜色
1 Cos+ 红色
2 Cos− 黑色
3 Ref+ 绿色
4 Ref− 白色
5 Sin+ 黄色
6 Sin− 蓝色
7 PE 屏蔽层
接线数据

绝对值编码器

多圈绝对值编码器连接器针脚定义
引脚 信号 颜色
1 485+ 蓝色
2 485− 黄色
3 VCC+ 红色
4 GND− 黑色
5 Battery+ 绿色
6 Battery− 白色
7 PE 屏蔽层
性能数据

转矩-转速信息

SPVS750W 已提供的工作范围数据点
工作点 数值
额定转矩 2.39 N·m
最大转矩 7.17 N·m
额定转速 3000 rpm
最大转速 4000 rpm
详细转矩-转速曲线 根据所选电压、极对数和反馈配置确认。

真空伺服系统集成

根据实际腔体条件选择绕组与反馈方式

最终选型应综合考虑腔体压力、供电电压、极对数、转矩-转速工作制、反馈、制动器、温度、线缆及真空馈通要求。

  • 确认旋转变压器或绝对值编码器的环境限制
  • 选择 48 V、110 V、220 V 或 380 V 绕组选项
  • 根据所选控制架构采用已核验的 5 极对配置
  • 核对制动器、线缆和连接器要求
750 W 真空伺服电机(透明背景)

应用领域

适用于受控环境的高功率伺服运动

750 W 平台适用于更高负载的精密运动轴,满足常规伺服电机无法达到的真空和温度要求。

半导体设备

为晶圆搬运、传输及工艺辅助机构提供闭环定位。

真空镀膜

为镀膜、搬运及腔体自动化系统提供可控运动。

科学仪器

适用于分析设备和大型真空腔体的精密伺服轴。

特殊环境系统

面向深冷和高温工况的应用定制配置。

系统集成

经核验的数据,加快设备设计

结合电压参数表、不同反馈方式的环境限制、机械图纸及接线定义,对整套驱动与真空系统进行评估。

产品型号SPVS750W
额定功率750 W
额定转矩2.39 N·m
最大转矩7.17 N·m
额定 / 最高转速3000 / 4000 rpm
反馈方式旋转变压器、霍尔、增量式或多圈绝对值编码器

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请提供腔体压力、温度、负载、速度、工作制、电压、极对数、反馈和制动器要求,以便进行配置评估。

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750 W 真空伺服电机
SPVS750W 真空伺服电机,额定转矩 2.39 N·m、最大转矩 7.17 N·m、额定转速 3000 rpm,提供 48 / 110 / 220 / 380 V 绕组选择,旋转变压器配置的真空度可达 1 × 10⁻⁷ Pa。

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