1000 W 真空伺服电机

真空伺服电机
高性能 1000 W 真空伺服电机,额定转矩 3.18 N·m、最大转矩 9.54 N·m、额定转速 3000 rpm,提供 110 / 220 V 绕组选择,旋转变压器配置的真空度可达 1 × 10⁻⁷ Pa。
1000 W 真空伺服电机(配真空用电缆和圆形连接器)

定位精度

高扭转刚度及在减速器整个使用寿命内保持稳定的扭转回程间隙,确保性能始终一致。

紧凑设计

高性能与短机身设计带来高转矩密度

低维护

高质量标准带来更长的使用寿命和维护周期

技术数据

1000 W 真空伺服平台

面向严苛真空设备的高功率闭环运动

SPVS1000W 额定功率 1000 W、额定转矩 3.18 N·m、额定转速 3000 rpm,并提供可选反馈方式以及明确的真空与温度限值。

高功率伺服运动

在 3000 rpm 下提供 3.18 N·m 额定转矩,适用于更高负载的精密运动轴。

真空环境适配配置

旋转变压器和绝对值编码器配置可适用于特殊环境,应用定制真空选项最低可达 1.0 × 10−7 Pa。

灵活的系统集成

多种电压绕组、制动器、真空线缆、馈通接口及温度传感器选项可适配不同设备架构。

技术数据

电气、环境与接线数据

请核对以下电气、环境及接线数据,并在设计定型前确认最终绕组、反馈、制动器和真空配置。

电气性能

1000 W 不同电压配置数据

四极和五极配置采用不同的额定工作点。

SPVS1000W 电气性能参数
参数 单位 110 V 220 V
极对数 — 5 5
额定功率 W 1000 1000
额定转矩 N·m 3.18 3.18
额定转速 rpm 3000 3000
额定电流 A 12.5 5.4
最大转矩 N·m 9.54 9.54
最大电流 A 37.5 16.2
最大转速 rpm 4000 4000
线间电阻(±10%) Ω 0.39 1.5
线间电感(±10%) mH 1.66 8.79
反电动势(±10%) V/Krpm 15.62 36.98
无制动器转子惯量 kg·cm² 2.057
带制动器转子惯量 kg·cm² 2.153
环境参数

通用规格

不同反馈配置的真空度与温度范围分别列示如下。

SPVS1000W 通用参数
规格 旋转变压器配置 其他编码器配置
反馈选项 旋转变压器、霍尔、增量式或多圈绝对值编码器
反馈真空度极限 1 × 10−7 Pa 上限:1 × 10−4 Pa
反馈工作温度 −196°C 至 +200°C −40°C 至 +105°C
绝缘等级 F F
防护等级 IP54(轴端除外) IP54(轴端除外)
不带制动器重量 3 kg 3 kg
带制动器重量 3.5 kg 3.5 kg
机械接口

外形尺寸与接线数据

使用图纸和尺寸表进行初步外廓评估;最终尺寸取决于所选制动器、反馈方式和线缆接口。

1000 W 真空伺服电机机械尺寸与安装接口
所提供 1000 W 配置的机械尺寸,单位为毫米。

机械参数

外形与安装

1000 W 电机尺寸
项目 数值
法兰尺寸 80 mm 方形
电机机身高度 93 mm
轴径 Ø19 mm
轴伸长度 35 ± 1 mm
电机机身长度 145 ± 1.5 mm
带制动器总长 177 ± 1.5 mm
安装孔 4 × Ø6.50 通孔
安装孔分布圆 PCD Ø90 mm
螺纹孔 M5,深 10 mm
接线数据

电源与制动器接线

电源与制动器接线
引脚 信号 导线颜色
1 U 红色
2 V 白色
3 W 黑色
4 PE 绿色
5 B+ 黄色
6 B− 棕色
接线数据

旋转变压器接线

旋转变压器接线
引脚 信号 导线颜色
1 Cos+ 红色
2 Cos− 黑色
3 Ref+ 绿色
4 Ref− 白色
5 Sin+ 黄色
6 Sin− 蓝色
7 PE 屏蔽层
接线数据

绝对值编码器接线

多圈绝对值编码器接线
引脚 信号 导线颜色
1 485+ 蓝色
2 485− 黄色
3 VCC+ 红色
4 GND− 黑色
5 Battery+ 绿色
6 Battery− 白色
7 PE 屏蔽层
性能数据

工作点信息

SPVS1000W 工作点信息
项目 数值
额定工作点 3.18 N·m,3000 rpm
最大转矩 9.54 N·m
最大转速 4000 rpm
已核验的转矩-转速曲线 请在确认电压、反馈、制动器、真空度、温度及工作制要求后提供。

真空伺服系统集成

根据实际工作环境配置电机

最终选型应综合考虑腔体压力、电压、转矩-转速工作制、反馈、制动器、温度、线缆及真空馈通要求。

  • 确认所需真空度与温度等级
  • 采用 5 极对电磁平台
  • 根据设备供电架构选择绕组电压
  • 选择旋转变压器、霍尔、增量式或多圈绝对值反馈
  • 核对制动器、线缆、传感器及腔体接口选项
1000 W 真空伺服电机(配真空用电缆和圆形连接器)

应用领域

适用于受控及特殊环境的高负载伺服运动

1000 W 平台适用于需要更大转矩且常规工业伺服电机无法满足真空和温度要求的精密运动轴。

半导体设备

为工艺腔体、传输机构及检测系统提供闭环定位。

真空镀膜

为沉积、搬运及腔体自动化设备提供更高负载的运动控制。

科学仪器

适用于分析设备和大型实验室真空腔体的精密伺服轴。

特殊环境系统

面向深冷、高温和受控真空环境的应用定制配置。

系统集成

清晰数据,加快设备设计

结合不同电压性能参数表、反馈限制、机械图纸及接线定义,对电机与整套驱动及真空系统进行评估。

产品型号SPVS1000W
额定功率1000 W
额定转矩3.18 N·m
额定转速3000 rpm
额定电压110 / 220 V
反馈方式旋转变压器、霍尔、增量式或多圈绝对值编码器

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请提供腔体压力、温度、负载、速度、工作制、电压、反馈和制动器要求,以便进行配置评估。

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1000 W 真空伺服电机
高性能 1000 W 真空伺服电机,额定转矩 3.18 N·m、最大转矩 9.54 N·m、额定转速 3000 rpm,提供 110 / 220 V 绕组选择,旋转变压器配置的真空度可达 1 × 10⁻⁷ Pa。

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