100 W 真空伺服电机

真空伺服电机
紧凑型 100 W 真空伺服电机,额定转矩 0.32 N·m、最大转矩 0.96 N·m,支持 24/48 V DC 与 110/220 V AC 供电,并可配置最低 1.0 × 10⁻⁷ Pa 真空等级。
100 W 真空伺服电机(透明背景)

定位精度

高扭转刚度及在减速器整个使用寿命内保持稳定的扭转回程间隙,确保性能始终一致。

紧凑设计

高性能与短机身设计带来高转矩密度

低维护

高质量标准带来更长的使用寿命和维护周期

技术数据

紧凑型真空伺服平台

面向严苛真空设备的 100 W 精密伺服运动

紧凑型 100 W 真空伺服平台,额定转矩 0.32 N·m、最大转矩 0.96 N·m,提供 24/48 V DC 或 110/220 V AC 配置,适用于半导体、科研及特殊环境运动系统。

紧凑型 100 W 伺服性能

在紧凑的 40 mm 方形机身内实现精确闭环运动控制。

真空环境适配配置

应用定制型号可适用于最低 1.0 × 10−7 Pa。

可选反馈方式

旋转变压器与编码器选项可满足不同的定位、温度及系统集成要求。

灵活供电平台

可选 24/48 V DC 或 110/220 V AC 配置,以匹配设备供电架构。

特殊环境选项

提供针对不同温度的配置、最高 300°C 线圈温度及耐辐照选项,可供工程选型评估。

可配置附件

制动器、温度传感器、反馈及线缆接口选项可根据最终腔体设计进行匹配。

工程信息

技术数据

以下电气、环境及工作数据可用于 100 W 配置的型号选择与系统集成。

100 W额定功率
SPVS100W产品型号
0.32 N·m额定转矩
40 mm机座尺寸

电气参数

不同电压下的性能参数

以下数值根据 25°C 环境温度下的 100 W 伺服电机技术资料整理。

SPVS100W 不同额定电压下的电气参数
规格 单位 24 V 48 V 110 V 220 V
额定功率 W 100 100 100 100
极对数 — 5 5 5 5
额定转矩 N·m 0.32 0.32 0.32 0.32
额定转速 rpm 3000 3000 3000 3000
额定电流 A 5 2.94 2.7 1.2
最大转矩 N·m 0.96 0.96 0.96 0.96
最大电流 A 15 8.82 8.1 3.6
最大转速 rpm 4000 4000 4000 4000
线间电阻(±10%) Ω 0.58 2.49 3.42 13.73
线间电感(±10%) mH 0.52 2.7 3.06 12.13
反电动势(±10%) V/Krpm 3.6 7.8 8.09 16
无制动器转子惯量 kg·cm² 0.089 0.089 0.089 0.089
带制动器转子惯量 kg·cm² 0.092 0.092 0.092 0.092
环境参数

真空、温度与配置选项

环境限制取决于所选材料、反馈、线缆、制动器及腔体接口。

SPVS100W 通用参数
规格 旋转变压器反馈 其他编码器反馈
反馈选项 旋转变压器 霍尔、增量式或多圈绝对值编码器
极限真空度 1 × 10−7 Pa 1 × 10−4 Pa
工作温度 −196°C 至 +200°C −40°C 至 +105°C
绝缘等级 F F
防护等级 IP54(轴端除外) IP54(轴端除外)
不带制动器的近似重量 0.7 kg 0.7 kg
带制动器的近似重量 0.8 kg 0.8 kg
机械接口

外形尺寸与接线数据

使用以下机械尺寸、接线信息及端子定义规划安装与电气集成。

100 W 真空伺服电机机械尺寸与安装接口
所示 100 W 配置的机械尺寸,单位为毫米;定型前请确认最终的出线方向、反馈及制动器配置。
100 W 真空伺服电机三相及旋转变压器接线图
三相电机与旋转变压器接线参考;请结合所选线缆和反馈配置确认最终连接器针脚定义。

接线数据

电机引线接线

100 W 三相电机引线颜色
信号 导线颜色 功能
U 红色 U 相电机线
V 白色 V 相电机线
W 黑色 W 相电机线
接线数据

旋转变压器接线

100 W 旋转变压器信号线颜色
信号 导线颜色 功能
Ref+ 绿色 旋转变压器参考信号正
Ref− 白色 旋转变压器参考信号负
Cos+ 红色 余弦输出正
Cos− 黑色 余弦输出负
Sin+ 黄色 正弦输出正
Sin− 蓝色 正弦输出负
选型数据

配置核对要点

SPVS100W 配置核对要点
项目 选型要求
供电 选择 24/48 V DC 或 110/220 V AC。
真空等级 确认工作腔体压力及允许放气量。
温度配置 根据工作温度选择绕组、反馈、线缆及润滑配置。
反馈方式 根据控制与环境要求选择旋转变压器或编码器。
可选项 确认制动器、温度传感器及耐辐照要求。
性能数据

工作范围信息

SPVS100W 工作范围信息
项目 数值
额定转矩 0.32 N·m
最大转矩 0.96 N·m
额定转速与最高转速 根据所选电压、绕组及反馈配置确认。
已核验的转矩-转速曲线 请在确认电压、反馈、制动器、真空度及温度要求后提供。

真空伺服系统集成

根据实际工作环境配置电机

最终选型应综合考虑腔体压力、供电电压、转矩-转速工作制、反馈、制动器、温度、辐照等级、线缆及真空馈通要求。

  • 确认所需真空度与温度等级
  • 根据设备供电架构选择 24/48 V DC 或 110/220 V AC
  • 选择旋转变压器或编码器反馈
  • 核对制动器、线缆、传感器及耐辐照选项
100 W 真空伺服电机(透明背景)

应用领域

适用于受控及特殊环境的闭环运动

该 100 W 平台适用于常规伺服电机无法满足真空、温度或辐照要求的紧凑型精密运动轴。

半导体设备

为晶圆搬运、检测及工艺辅助机构提供闭环定位。

真空镀膜

为镀膜、搬运及腔体自动化系统提供可控运动。

科学仪器

适用于分析设备及实验室真空腔体的紧凑型伺服轴。

特殊环境系统

面向深冷、高温及辐照环境的应用定制配置。

系统集成

清晰数据,加快设备设计

结合不同电压参数表、环境限制、机械图纸及接线定义,对电机与整套驱动及真空系统进行评估。

产品型号SPVS100W
额定功率100 W
额定转矩0.32 N·m
最大转矩0.96 N·m
额定电压24/48 V DC 或 110/220 V AC
反馈方式旋转变压器或编码器

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请提供腔体压力、温度、负载、速度、工作制、电压、反馈、制动器及辐照要求,以便进行配置评估。

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100 W 真空伺服电机
紧凑型 100 W 真空伺服电机,额定转矩 0.32 N·m、最大转矩 0.96 N·m,支持 24/48 V DC 与 110/220 V AC 供电,并可配置最低 1.0 × 10⁻⁷ Pa 真空等级。

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