面向真空环境的结构
可提供腔体压力最低至 1 × 10−7 Pa 的配置，最终需通过系统验证。
SPHVC65C 真空高低温直线平台
真空模组
SPHVC65C 真空高低温直线平台采用 65 mm 机座，重复定位精度 ±0.01–0.02 mm，配备 100 W 伺服驱动和 Ø12 mm 滚珠丝杠，真空配置最低可达 1 × 10⁻⁷ Pa，适用温度范围为 −196 至 +200 °C。最终配置需经确认。
定位精度
高扭转刚度及在减速器整个使用寿命内保持稳定的扭转回程间隙，确保性能始终一致。
紧凑设计
高性能与短机身设计带来高转矩密度
低维护
高质量标准带来更长的使用寿命和维护周期
技术数据
真空高低温直线平台
极端真空与温度环境下的精密直线运动
SPHVC65C 将高刚性直线平台结构、滚珠丝杠驱动和伺服电机相结合，适用于真空、低温和高温设备中的定位任务。最终能力取决于所选材料、润滑剂、线缆、馈通和验证条件。
极端温度选项
根据应用选择的材料和润滑方案可支持 −196 至 +200 °C 环境。
重复定位
在选型和安装正确的情况下，重复定位精度为 ±0.01–0.02 mm。
导程性能
应根据运行速度、水平负载和垂直负载要求选择丝杠导程。
可扩展行程
标准行程为 100–600 mm，按 50 mm 递增。提供的尺寸图还列出了 650–800 mm 的机械配置；选型时需确认可用性和有效行程。
工程配置
可根据目标腔体要求评估电机、传感器、线缆、连接器、制动器和安装细节。
工程信息
技术数据
以下技术数据采用独立参数表呈现，移动端可在表格区域横向查看。
65 mm机座尺寸
±0.01–0.02 mm重复定位精度
1 × 10−7 Pa真空度
−196 至 +200 °C温度范围
运动数据
导程、速度和负载选项
负载值为参考额定值；需核对安装方向、工作循环、加速度、悬伸量和寿命要求。
| 滚珠丝杠导程 | 最大转速 | 水平负载 | 垂直负载 |
|---|---|---|---|
| 5 mm | 250 mm/s | 28 kg | 12 kg |
| 10 mm | 500 mm/s | 16 kg | 6 kg |
驱动数据
核心配置
| 电机功率 | 100 W |
| 滚珠丝杠直径 | Ø12 mm |
| 重复定位精度 | ±0.01–0.02 mm |
| 行程 | 标准行程 100–600 mm，按 50 mm 递增 |
环境参数
配置限制
| 真空度 | 最低至 1 × 10−7 Pa |
| 温度范围 | −196 至 +200 °C |
| 耐辐射剂量 | 最高至 1 × 106 Gy |
| 选型说明 | 必须确认材料、润滑剂、线缆和验证条件。 |
机械接口
尺寸与行程配置
机械图与尺寸参数分别呈现。除非另有说明，数值单位均为毫米。
尺寸参考
行程相关尺寸
提供的尺寸图列出了 650–800 mm 的机械配置；选型时需确认可用性和有效行程。
| S (mm) | L (mm) | A (mm) | N | P | 重量（kg） |
|---|---|---|---|---|---|
| 100 | 305 | 208 | 10 | 4 | 2.6 |
| 150 | 355 | 330 | 12 | 5 | 2.9 |
| 200 | 405 | 380 | 16 | 7 | 3.2 |
| 250 | 455 | 430 | 18 | 8 | 3.5 |
| 300 | 505 | 480 | 20 | 9 | 3.8 |
| 350 | 555 | 530 | 22 | 10 | 4.1 |
| 400 | 605 | 580 | 26 | 12 | 4.4 |
| 450 | 655 | 630 | 28 | 13 | 4.7 |
| 500 | 705 | 680 | 30 | 14 | 5 |
| 550 | 755 | 730 | 32 | 15 | 5.3 |
| 600 | 855 | 780 | 36 | 17 | 5.6 |
| 650 | 855 | 830 | 38 | 18 | 5.9 |
| 700 | 905 | 880 | 40 | 19 | 6.2 |
| 750 | 955 | 930 | 42 | 20 | 6.5 |
| 800 | 1005 | 980 | 47 | 22 | 6.8 |
真空平台集成
根据实际腔体工况配置平台
选型应考虑腔体压力、温度、辐射暴露、行程、负载方向、速度、加速度、工作循环、安装方式、传感器、电机线缆和馈通要求。
- 分别确认水平和垂直负载
- 根据所需速度和推力选择丝杠导程
- 验证润滑剂和材料兼容性
- 检查线缆布置、传感器和腔体馈通
应用领域
受控环境中的直线定位
SPHVC65C 适用于标准工业平台无法满足真空或温度限制的工程运动轴。
半导体设备
用于真空兼容生产设备的传输、定位和工艺辅助轴。
真空镀膜
沉积、搬运和腔体自动化系统中的受控定位。
科学仪器
分析、测试和科研设备用精密直线运动。
航空航天模拟
用于热真空和辐射相关测试系统的定制平台。
系统集成
工程选型数据
请结合规格参数和机械尺寸图，对照完整运动、腔体和馈通设计进行选型。
产品型号SPHVC65C
机座尺寸65 mm
电机功率100 W
滚珠丝杠Ø12 mm
重复定位精度±0.01–0.02 mm
行程标准行程 100–600 mm，按 50 mm 递增
与我们的工程师讨论您的 SPHVC65C 真空直线轴需求。
请提供腔体压力、温度、辐射水平、行程、负载、速度、加速度、工作循环和接口要求，以便进行配置评估。
精益求精，全新维度
更多信息
部分产品配置可实现短交期。
TP+ HIGH TORQUE 可实现更高的转矩密度和扭转刚度，适用于动态负载变化大且定位精度要求高的应用。
alpha Advanced Line 减速器可提供更高耐久性及食品级润滑方案。
TP+ 适用于中高要求的齿轮齿条协同系统，典型应用包括木材、塑料及复合材料加工、加工中心和自动化设备。
借助 cynapse® 与智能服务，可对传感器数据进行处理、可视化和智能分析，充分释放驱动系统潜力，使数字化生产更快速、更安全、更高效。
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