五轴运动
X、Y、Z 直线运动与 R 轴旋转、T 轴倾斜相结合，实现协同空间定位。
SPV5A 真空五轴定位平台
真空模组
兼容真空环境的五轴定位平台，集成 X/Y/Z 直线运动、R 轴连续旋转和 T 轴倾斜，支持多种反馈方式，可在低于 5.0 × 10⁻⁷ Torr 的真空环境下运行。
定位精度
高扭转刚度及在减速器整个使用寿命内保持稳定的扭转回程间隙，确保性能始终一致。
紧凑设计
高性能与短机身设计带来高转矩密度
低维护
高质量标准带来更长的使用寿命和维护周期
技术数据
真空五轴定位
X、Y、Z、旋转与倾斜协同一体的五轴平台
SPV5A 将三个直线轴与连续旋转和精密倾斜结合，用于高真空仪器内部的样品定位。开放式机械架构支持直接集成到腔体、中央光路通道以及按应用选择驱动方式。
中央光路通道
中空轴结构可为光束、样品、传感器或显微镜组件提供清晰的中央通道。
面向真空环境的集成
可根据低于 5.0 × 10⁻⁷ Torr 的真空度要求，以及所选电机、反馈装置和腔体接口评估配置。
技术数据
面向特定应用控制的五轴协同运动
以下数值录自所提供的原始数据。最终性能需结合负载、线缆布置、腔体压力、反馈方式和运动曲线进行确认。
5 轴X / Y / Z / R / T
150 × 150 × 65 mm直线行程
360°连续旋转
< 5.0 × 10⁻⁷ Torr真空度
轴规格
SPV5A 运动参数
直线轴数值以毫米和微米表示；旋转轴数值以度和角秒表示。
| 参数 | X | Y | Z | R | T |
|---|---|---|---|---|---|
| 轴类型 | 直线 | 直线 | 直线 | 旋转 | 倾斜 |
| 行程 | 150 mm | 150 mm | 65 mm | 360° 连续旋转 | −10° 至 +80° |
| 导程 | 2 mm | 2 mm | 2 mm | — | — |
| 重复定位精度 | ±5 μm | ±5 μm | ±5 μm | ±3 arcsec | ±3 arcsec |
| 平行度 | ±25 μm | ±25 μm | ±25 μm | — | — |
| 最大转速 | 10 mm/s | 10 mm/s | 2 mm/s | 15°/s | 4°/s |
| XY 正交度 | 10 μm | — | — | — | |
系统数据
运行与集成条件
| 控制方式 | 开环 / 编码器闭环 / 光栅尺闭环 |
|---|---|
| 叠放顺序 | Z → T → X → Y → R |
| 负载能力 | R 轴和 T 轴静止时 ≥5 kg；常规五轴运行时 ≥1 kg |
| 工作温度 | 20 ± 10 °C |
| 真空度 | < 5.0 × 10⁻⁷ Torr |
| 磁屏蔽 | R 轴表面磁场 < 0.12 mG |
| 定心方式 | 机械定心结构 |
| 外形尺寸 | 由所提供的 3D 模型和应用接口确定 |
集成运动架构
围绕样品、腔体和光路进行设计
该平台在紧凑机械组件中集成兼容直驱的旋转定位、中央通孔和叠放式直线轴。可根据精度、速度、反馈方式和真空要求选择交流伺服电机或步进电机。
- 直接机械连接与可重复回零
- 用于光路或样品通道的大尺寸中央通孔
- 交叉滚子轴承旋转平台，提供高刚性支撑
- 支持开环、编码器或光栅尺反馈
应用领域
科学仪器用五轴样品定位
最终配置需结合实际样品、视场、腔体空间和运动顺序进行选择。
扫描电子显微镜
在保持受控腔体集成的同时，对样品进行平移、旋转和倾斜定位以完成检测。
透射电子显微镜
面向特定应用显微组件的精密多轴样品定向
光学显微镜
通过直线定位与角度对准协同，适配成像和计量系统。
共聚焦与科学成像
在自动化仪器中对样品或光学元件进行多自由度定位。
集成数据
方案确定前明确腔体条件与运动范围
请提供以下信息，以便对平台、电机、反馈、布线和机械接口进行整体核查。
真空要求工作压力与烘烤条件
负载质量、重心和惯量
运动曲线行程、速度、加速度、工作循环和稳定时间
精度重复定位精度、正交度和反馈要求
光路通道所需中央通孔和光路
接口腔体空间、安装孔位、电机和线缆出口
为您的仪器配置 SPV5A。
请提供腔体压力、负载、行程、角度范围、精度和接口要求，以便进行工程评估。
精益求精，全新维度
更多信息
部分产品配置可实现短交期。
TP+ HIGH TORQUE 可实现更高的转矩密度和扭转刚度，适用于动态负载变化大且定位精度要求高的应用。
alpha Advanced Line 减速器可提供更高耐久性及食品级润滑方案。
TP+ 适用于中高要求的齿轮齿条协同系统，典型应用包括木材、塑料及复合材料加工、加工中心和自动化设备。
借助 cynapse® 与智能服务，可对传感器数据进行处理、可视化和智能分析，充分释放驱动系统潜力，使数字化生产更快速、更安全、更高效。
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