400 W 真空伺服电机

真空伺服电机

高性能 400 W 真空伺服电机，额定转矩 1.28 N·m、最大转矩 3.84 N·m，额定/最高转速 3,000/4,000 rpm，支持 24/48 V 直流及 110/220/380 V 交流。

技术详情

更多信息

定位精度

高扭转刚度及在减速器整个使用寿命内保持稳定的扭转回程间隙，确保性能始终一致。

紧凑设计

高性能与短机身设计带来高转矩密度

低维护

高质量标准带来更长的使用寿命和维护周期

技术数据

高转矩真空伺服平台

面向严苛真空设备的 400 W 精密伺服运动

400 W 真空伺服电机平台可在最高 4,000 rpm 下输出 1.28 N·m 额定转矩和 3.84 N·m 最大转矩，并提供 24/48 V 直流或 110/220/380 V 交流配置，适用于半导体、科研及特殊环境运动系统。

400 W 精准可控性能

为高负载闭环真空运动轴在 3,000 rpm 下提供 1.28 N·m 额定转矩。

真空环境适配配置

旋转变压器反馈型号的真空度可达 1 × 10⁻⁷ Pa；其他编码器反馈型号的真空度可达 1 × 10⁻⁴ Pa。

可选反馈方式

旋转变压器与编码器选项可满足不同的定位、温度及系统集成要求。

灵活供电平台

可选择 24/48 V 直流或 110/220/380 V 交流配置，以匹配设备供电架构。

特殊环境选项

旋转变压器配置支持 −196°C 至 +200°C，其他编码器配置支持 −40°C 至 +105°C；还可提供与配置相关的线圈温度能力及耐辐照选项。

可配置附件

可根据最终腔体设计匹配制动器、温度传感器、反馈、线缆接口及机械选项。

工程信息

技术数据

以下电气、环境及工作数据可用于 400 W 配置的型号选择与系统集成。

400 W额定功率

SPVS400W产品型号

1.28 N·m额定转矩

4,000 rpm最大转速

电气参数

不同电压下的性能参数

电气参数按 25°C 环境温度下的额定电压分别列出。

SPVS400W 各额定电压电气规格
规格	单位	24 V DC	48 V DC	110 V AC	220 V AC	380 V AC
极对数	—	5	5	5	5	5
额定功率	W	400	400	400	400	400
额定转矩	N·m	1.28	1.28	1.28	1.28	1.28
额定转速	rpm	3,000	3,000	3,000	3,000	3,000
额定电流	A	23.5	10.2	4.2	2.3	1.3
最大转矩	N·m	3.84	3.84	3.84	3.84	3.84
最大电流	A	70.5	30.6	12.6	6.9	3.9
最大转速	rpm	4,000	4,000	4,000	4,000	4,000
线间电阻（±10%）	Ω	0.075	0.3	1.82	8.34	21.55
线间电感（±10%）	mH	0.153	0.71	4.6	16.98	45.54
反电动势（±10%）	V/Krpm	3.64	7.89	18.93	37.3	63.39
无制动器转子惯量	kg·cm²	0.555	0.555	0.555	0.555	0.555
带制动器转子惯量	kg·cm²	0.567	0.567	0.567	0.567	0.567

环境参数

真空、温度与配置选项

环境限制取决于所选材料、反馈、线缆及腔体接口。

SPVS400W 通用规格
规格	旋转变压器反馈	其他编码器反馈
反馈选项	旋转变压器	霍尔、增量式或多圈绝对值编码器
极限真空度	1 × 10⁻⁷ Pa	1 × 10⁻⁴ Pa
工作温度	−196°C 至 +200°C	−40°C 至 +105°C
绝缘等级	F	F
防护等级	IP54（轴端除外）	IP54（轴端除外）
不带制动器的近似重量	1.5 kg	1.5 kg
带制动器的近似重量	1.7 kg	1.7 kg

SPVS400W 可配置温度及特殊环境选项
选项	代码或条件	可用范围或能力
常温	NT	−40°C 至 +85°C
扩展低温型	NT-L1	−70°C 至 +85°C
高温	HT	−20°C 至 +150°C
超高温	SHT	−20°C 至 +200°C
超低温	SLT	−196°C 至 +85°C
定制温度配置	Lxx-Hxx	低温和高温限值根据具体应用确定
绕组耐温能力	取决于配置	最高 300°C
耐辐照配置	LRA / HRA / URA	最高可达 10⁶ Gy
温度传感器	TS	可选

机械接口

外形尺寸与接线数据

使用以下机械尺寸、接线信息及端子定义规划安装与电气集成。

400 W 真空伺服电机机械尺寸与安装接口 — 400 W 配置的机械尺寸。尺寸单位为毫米；请确认最终线缆出线方式、反馈及制动器配置。

400 W 真空伺服电机三相及旋转变压器接线图 — 三相电机与旋转变压器接线参考；请结合所选线缆和反馈配置确认最终连接器针脚定义。

接线数据

电机引线接线

400 W 电机动力与制动器接线
引脚	信号	导线颜色	功能
1	U	红色	U 相电机线
2	V	白色	V 相电机线
3	W	黑色	W 相电机线
4	PE	绿色	保护接地（PE）
5	B+	黄色	制动器正极（选配制动器）
6	B−	棕色	制动器负极（选配制动器）

接线数据

旋转变压器接线

400 W 旋转变压器接线
引脚	信号	导线颜色	功能
1	Cos+	红色	余弦输出正
2	Cos−	黑色	余弦输出负
3	Ref+	绿色	旋转变压器参考信号正
4	Ref−	白色	旋转变压器参考信号负
5	Sin+	黄色	正弦输出正
6	Sin−	蓝色	正弦输出负
7	PE	屏蔽编织层	保护接地（PE）/ 屏蔽层

选型数据

配置核对要点

SPVS400W 配置核对要点
项目	选型要求
供电	选择 24/48 V DC 或 110/220/380 V AC。
真空等级	旋变反馈配置选择 1 × 10⁻⁷ Pa；其他编码器反馈配置选择 1 × 10⁻⁴ Pa。
温度配置	根据工作温度选择绕组、反馈方式、线缆及制动器配置。
反馈方式	根据控制与环境要求选择旋转变压器或编码器。
可选项	确认制动器、温度传感器、耐辐照及线缆接口要求。

性能数据

工作范围信息

SPVS400W 工作范围信息
项目	数值
额定转速	3,000 rpm
最大转速	4,000 rpm
额定转矩	1.28 N·m
最大转矩	3.84 N·m
已核验的转矩-转速曲线	在确认电压、反馈方式、制动器、真空度、温度及工作制要求后提供。

真空伺服系统集成

根据实际工作环境配置电机

最终选型应综合考虑腔体压力、供电电压、转矩-转速工作制、反馈、制动器、温度、辐照等级、线缆及真空馈通要求。

确认所需真空度与温度等级
根据设备供电架构选择 24/48 V 直流或 110/220/380 V 交流
选择旋转变压器或编码器反馈
核对制动器、线缆、传感器及耐辐照选项

应用领域

适用于受控环境的高负载闭环运动

400 W 平台适用于需要更高转矩且常规伺服电机无法满足真空、温度或辐照要求的精密运动轴。

半导体设备

为晶圆搬运、检测及工艺辅助机构提供闭环定位。

真空镀膜

为镀膜、搬运及腔体自动化系统提供可控运动。

科学仪器

适用于分析设备和实验室真空腔体的高转矩伺服轴。

特殊环境系统

面向深冷、高温及辐照环境的应用定制配置。

系统集成

清晰数据，加快设备设计

结合不同电压参数表、环境限制、机械图纸及接线定义，对电机与整套驱动及真空系统进行评估。

产品型号SPVS400W

额定功率400 W

额定转速3,000 rpm

额定转矩1.28 N·m

最大转矩3.84 N·m

额定电压24/48 V DC 或 110/220/380 V AC

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请提供腔体压力、温度、负载、速度、工作制、电压、反馈和辐照要求，以便进行配置评估。

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400 W 真空伺服电机

高性能 400 W 真空伺服电机，额定转矩 1.28 N·m、最大转矩 3.84 N·m，额定/最高转速 3,000/4,000 rpm，支持 24/48 V 直流及 110/220/380 V 交流。

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技术数据

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400 W 精准可控性能

真空环境适配配置

可选反馈方式

灵活供电平台

特殊环境选项

可配置附件

技术数据

不同电压下的性能参数

真空、温度与配置选项

外形尺寸与接线数据

电机引线接线

旋转变压器接线

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工作范围信息

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