全系列真空版本
真空丝杆直线执行器
Spotlight 真空丝杆直线执行器可基于各类标准丝杆电机平台进行配置，适用于 10⁻⁷ Pa 真空环境，同时保留对应标准型号的电气、机械和运动参数。
面向应用的工程设计
围绕运动需求配置的真空直线轴
每套组件均根据设备空间、目标运动曲线和真空工作条件进行配置，而非套用固定的目录规格。
全系列真空选项
所有标准丝杆电机平台均可适配真空环境，并根据应用选择材料、润滑方案、线缆和连接器。
面向应用的运动设计
根据所需负载、速度和定位工况匹配机座尺寸、丝杠导程、行程、绕组和机械结构。
面向集成的机械设计
电机、丝杠和螺母结构可结合安装限制、可用空间及周边设备结构进行协调设计。
工程信息
保持标准性能并具备真空兼容性
真空版本保留对应标准产品的机座、绕组、丝杠、推力或负载额定值、每步行程、电机长度和机械尺寸，并采用适用于 10⁻⁷ Pa 真空环境的材料、润滑方案、线缆和连接器选项。
14–86 mm标准机座尺寸范围
0.3–25.4 mm滑动丝杆系列导程范围
最高 2270 N滑动丝杆系列最大推力
10⁻⁷Pa真空度
滑动丝杆系列
与标准 SP 系列对应的真空版本
| 标准型号 | 机座尺寸 | 最大推力 | 导程范围 | 真空度 |
|---|---|---|---|---|
| SP14SLA | 14 mm | 最高 19 N | 0.3–8 mm | 10⁻⁷Pa |
| SP20SLA | 20 mm | 最高 70 N | 0.3–8 mm | 10⁻⁷Pa |
| SP28SLA | 28 mm | 最高 150 N | 0.3175–10.16 mm | 10⁻⁷Pa |
| SP35SLA | 35 mm | 最高 300 N | 0.6096–25.4 mm | 10⁻⁷Pa |
| SP42SLA | 42 mm | 最高 600 N | 0.6096–25.4 mm | 10⁻⁷Pa |
| SP57SLA | 57 mm | 最高 1300 N | 0.635–25.4 mm | 10⁻⁷Pa |
| SP60SLA | 60 mm | 最高 1560 N | 0.635–25.4 mm | 10⁻⁷Pa |
| SP86SLA | 86 mm | 最高 2270 N | 2.54–25.4 mm | 10⁻⁷Pa |
电压、电流、电阻、电感、步距角、电机长度、每步行程、丝杠直径、配置和机械尺寸均与所选标准 SP 系列产品保持一致。
滚珠丝杠系列
与标准 SP 滚珠丝杠系列对应的真空版本
| 标准型号 | 机座尺寸 | 建议负载上限 | 滚珠丝杠导程 | 真空度 |
|---|---|---|---|---|
| SP14BSA | 14 mm | 最高 15 N | 1 / 2 mm | 10⁻⁷Pa |
| SP20BSA | 20 mm | 最高 45 N | 1 / 2 mm | 10⁻⁷Pa |
| SP28BSA | 28 mm | 最高 140 N | 1 / 2 / 6 mm | 10⁻⁷Pa |
| SP35BSA | 35 mm | 最高 230 N | 1–12 mm | 10⁻⁷Pa |
| SP42BSA | 42 mm | 最高 230 N | 1–10 mm | 10⁻⁷Pa |
| SP57BSA | 57 mm | 最高 910 N | 2–20 mm | 10⁻⁷Pa |
负载数值为对应标准产品在其参考测试条件下给出的建议上限。电气参数、每步行程、精度、丝杠、螺母和机械数据与该标准产品一致。
28 mm 平台
代表性真空配置
35 mm 平台
代表性真空配置
57 mm 平台
代表性真空配置
一体化直线运动
电机与丝杠一体化机械组件
协调设计的执行器有助于 OEM 团队将电机、丝杠、螺母和安装接口与周边真空机构相匹配。
- 标准丝杆电机系列均可提供真空版本
- 根据目标运动要求选择导程、行程和螺母接口
- 根据应用评估真空材料、润滑方案和线缆
应用领域
适用于受控真空系统内的精密运动
可配置结构适用于需要紧凑机电定位和应用专属真空兼容性的 OEM 设备。
半导体设备
用于真空工艺和搬运模组中的定位与传输功能。
光学仪器
用于光学、检测和计量系统的精细调节机构。
科研设备
用于实验室真空腔体和实验装置的定制直线轴。
真空自动化
用于阀门、平台和辅助机构的紧凑型运动组件。
系统集成
先选择标准型号，再添加真空配置
根据机座尺寸、导程、负载、速度和行程选择标准丝杆产品，再确认真空专用材料、润滑方案、线缆和连接器要求。
滑动丝杆系列范围SP14SLA 至 SP86SLA 标准平台
滚珠丝杠系列范围SP14BSA 至 SP57BSA 标准平台
标准性能数据与对应标准产品一致
真空度10⁻⁷Pa
真空专项评估材料、润滑方案、线缆、连接器及工艺环境
最终选型确认目标工作循环下的工作点和工程裕量
与我们的工程师讨论您的真空直线运动需求。
请提供腔体条件、运动曲线、安装空间和电气接口，以便进行配置评估。